每日經(jīng)濟新聞 2022-07-30 22:12:39
每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問光刻膠進展不及預(yù)期的原因是什么?如何解決?
晶瑞電材(300655.SZ)7月29日在投資者互動平臺表示,公司KrF(248nm深紫外)光刻膠產(chǎn)品分辨率達到了0.25~0.13μm的技術(shù)要求,已通過部分重要客戶測試,KrF光刻膠生產(chǎn)及測試線已經(jīng)基本建成,設(shè)備正在安裝調(diào)試中,爭取今年批量供貨。同時公司ArF光刻膠研發(fā)工作正在有序開展。
(記者 賈運可)
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