每日經(jīng)濟新聞 2022-11-25 15:37:15
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請老師普及一下光刻膠缺陷檢測分析儀器的難度？這個比光刻機，刻蝕機還難嗎？
南大光電（300346.SZ）11月25日在投資者互動平臺表示，缺陷檢測分析儀器主要應(yīng)用于28nm以下工藝節(jié)點的光刻膠檢測，目前國內(nèi)仍在研制中，尚無可商用的設(shè)備。
(記者 蔡鼎)
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