每經(jīng)記者 朱成祥    每經(jīng)編輯 陳俊杰    

說起萬業(yè)企業(yè)（SH600641，股價(jià)19.01元，市值182.1億元），投資者們最熟悉的或許還是其房地產(chǎn)商的身份。但如今，萬業(yè)企業(yè)通過外延式并購，逐漸發(fā)展起以離子注入機(jī)為主的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)。12月20日上午，《每日經(jīng)濟(jì)新聞》記者致電萬業(yè)企業(yè)證券部，針對上市公司未來是否將以半導(dǎo)體設(shè)備為主，房地產(chǎn)業(yè)務(wù)將越來越少的問題，工作人員表示肯定，“是的，公司目前在做轉(zhuǎn)型”。

記者發(fā)現(xiàn)，萬業(yè)企業(yè)除了離子注入機(jī)外，也在發(fā)展刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備以及熱處理設(shè)備。對于上市公司這些業(yè)務(wù)與國內(nèi)主流廠商的技術(shù)差別，上述工作人員表示希望發(fā)送采訪函至郵箱，以更為詳細(xì)地解答。

萬業(yè)企業(yè)通過郵件回復(fù)記者稱：“公司自2015年起沒有新增土儲，正在不斷深化戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型，加速邁入半導(dǎo)體領(lǐng)域，同步做好現(xiàn)有存量房產(chǎn)的開發(fā)、銷售工作。”

從房地產(chǎn)到半導(dǎo)體

房地產(chǎn)商，這是萬業(yè)企業(yè)過去的標(biāo)簽。半導(dǎo)體設(shè)備廠商，這是萬業(yè)企業(yè)轉(zhuǎn)型的方向。

2018年，萬業(yè)企業(yè)收購上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（以下簡稱“凱世通”），正式進(jìn)入離子注入機(jī)領(lǐng)域。

據(jù)Wind數(shù)據(jù)，自2018年以來，萬業(yè)企業(yè)房地產(chǎn)業(yè)務(wù)持續(xù)下降，而半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)則在上升。2018年、2019年、2020年和2021年，其房地產(chǎn)業(yè)務(wù)營業(yè)收入分別為25.75億元、17.33億元、8.57億元和6.81億元；同期，專用設(shè)備制造營業(yè)收入分別為5810.52萬元、8389.68萬元、2176.02萬元和1.23億元。

可以看出，萬業(yè)企業(yè)專用設(shè)備制造業(yè)務(wù)收入已經(jīng)破億。進(jìn)入2022年，公司專用設(shè)備制造業(yè)務(wù)收入再度高速增長。2022年上半年，其專用設(shè)備制造業(yè)務(wù)營收8783.87萬元，較上年同期增長150.86%。

相比之下，萬業(yè)企業(yè)2022年上半年房地產(chǎn)業(yè)務(wù)營收僅為7821.15萬元。專用設(shè)備制造業(yè)務(wù)已超過房地產(chǎn)業(yè)務(wù)，成為上市公司第一大業(yè)務(wù)。

據(jù)方正證券研報(bào)，2021年四季度，凱世通的低能大束流重金屬離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)成功通過驗(yàn)證和驗(yàn)收，高能離子注入機(jī)順利在另一家 12英寸集成電路芯片制造廠完成交付。

2022年一季度，凱世通獲得重要客戶的批量訂單，累計(jì)新增集成電路設(shè)備訂單超6.8億元。2022年4月已成功向重要客戶交付了批量訂單中的首批大束流離子注入機(jī)，完成了多套設(shè)備的順利發(fā)貨，業(yè)務(wù)進(jìn)入放量新階段。

另據(jù)上市公司2022年中報(bào)，上半年凱世通新增獲得3家客戶多臺低能大束流離子注入機(jī)采購訂單，累計(jì)新增集成電路設(shè)備訂單超7.5 億元。2022年一季度，凱世通獲得重要客戶的批量訂單，包含12英寸低能大束流離子注入機(jī)和低能大束流超低溫離子注入機(jī)，并與另一家集成電路制造廠簽訂了一臺低能大束流離子注入機(jī)訂單。2022年二季度，凱世通獲得第三家集成電路制造工廠的3臺低能大束流離子注入機(jī)訂單。

從離子注入到“1+N”

相對于薄膜沉積、刻蝕機(jī)，離子注入機(jī)價(jià)值量相對較小。目前，晶圓制造過程主要包括7個相互獨(dú)立的工藝流程：光刻、刻蝕、薄膜沉積、擴(kuò)散、離子注入、化學(xué)機(jī)械拋光、金屬化。其中，光刻、刻蝕、薄膜沉積為設(shè)備價(jià)值最高的三個流程，價(jià)值占比之和超過50%。

目前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微公司（SH688012，股價(jià)100.77元，市值621億元）、北方華創(chuàng)（SZ002371，股價(jià)217.82元，市值1151.3億元），均布局刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備。而萬業(yè)企業(yè)的雄心，顯然并不局限于離子注入機(jī)。

在國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓制造蓬勃建廠之際，萬業(yè)企業(yè)連續(xù)“出手”。2020年，萬業(yè)企業(yè)完成全球知名的半導(dǎo)體設(shè)備流量控制領(lǐng)域公司Compart Systems的跨境并購；2021年，萬業(yè)企業(yè)成立嘉芯半導(dǎo)體，業(yè)務(wù)覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等多款集成電路核心前道設(shè)備。

據(jù)2022年中報(bào)，萬業(yè)企業(yè)控股孫公司連續(xù)中標(biāo)熱處理設(shè)備、等離子刻蝕機(jī)、等離子薄膜沉積設(shè)備。

以等離子薄膜沉積為例，其與傳統(tǒng)物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積技術(shù)上有無異同呢？萬業(yè)企業(yè)回復(fù)記者稱：“等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD是90-28nm沉積介質(zhì)絕緣層和半導(dǎo)體材料的主流工藝設(shè)備，優(yōu)點(diǎn)是低溫沉積、薄膜純度和密度更高，沉積更快，適用于沉積大多數(shù)主流介質(zhì)薄膜。相比傳統(tǒng)的APCVD、LPCVD設(shè)備，PECVD設(shè)備已成為芯片制造薄膜沉積工藝中運(yùn)用最廣泛的設(shè)備種類。”

同時，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)也是技術(shù)密集型行業(yè)，對人才的要求相對較高。盡管多次并購，萬業(yè)企業(yè)是否能夠留住人才、培養(yǎng)人才呢？

對此，萬業(yè)企業(yè)對記者表示，公司亦充分意識到人才的問題，公司轉(zhuǎn)型成功與否很大程度上取決于人才方面。公司自從轉(zhuǎn)型以來，對人才方面一直重視也取得一定成效。萬業(yè)企業(yè)第一期員工持股計(jì)劃推出于2021年4月，經(jīng)過逾一年的施行已達(dá)成解鎖條件成就，據(jù)年報(bào)顯示2021年凱世通營收同比增長468.89%，符合業(yè)績考核目標(biāo)。總體而言，公司希望通過員工持股計(jì)劃，使得員工和公司能更加緊密地同呼吸、共命運(yùn)，共同拼搏，為后續(xù)幾年公司的良好業(yè)績打下好的基礎(chǔ)，以此更好地回饋全體投資者。

封面圖片來源：每日經(jīng)濟(jì)新聞 劉國梅 攝