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上海新陽:公司KrF光刻膠已批量化生產銷售

每日經濟新聞 2023-01-28 19:04:47

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請董秘介紹下KrF、ArF、EUV各類芯片半導體光刻膠新產品進展。

上海新陽(300236.SZ)1月28日在投資者互動平臺表示,公司KrF光刻膠已批量化生產銷售,ArF類光刻膠樣品目前在國內晶圓制造企業(yè)驗證中,EUV光刻膠尚在開發(fā)階段。

(記者 王可然)

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