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南大光電:公司ArF光刻膠的客戶驗(yàn)證目前主要集中在90nm~28nm制程的工藝節(jié)點(diǎn)

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-02-10 15:18:18

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問:您好。請(qǐng)問貴司的多款A(yù)RF干濕法光刻膠是否已經(jīng)在國內(nèi)12寸主流晶圓廠進(jìn)入STR與MSTR階段?

南大光電(300346.SZ)2月10日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司ArF光刻膠的客戶驗(yàn)證目前主要集中在90nm~28nm制程的工藝節(jié)點(diǎn)。

(記者 畢陸名)

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