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奧普光電:子公司禹衡光學的光柵產品目前沒有在光刻機中得到使用

每日經濟新聞 2023-03-28 10:49:41

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:老師,請問貴司的光柵是不是可以用于光刻機的曝光系統(tǒng)?目前國產28nm光刻機,公司是否可以直接或間接為28nm光刻機提供零部件?

奧普光電(002338.SZ)3月28日在投資者互動平臺表示,公司子公司禹衡光學的光柵產品目前沒有在光刻機中得到使用。

(記者 尹華祿)

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