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ASML與比利時(shí)微電子研究中心簽署諒解備忘錄，支持高NA半導(dǎo)體研究

2023-06-28 22:46:45

每經(jīng)AI快訊，6月28日，荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML官網(wǎng)宣布，與比利時(shí)微電子研究中心（Imec）簽署諒解備忘錄，將在下一階段加強(qiáng)合作，在IMEC開(kāi)發(fā)一個(gè)最先進(jìn)的高數(shù)值孔徑（High-NA）極紫外光刻試驗(yàn)線。諒解備忘錄包括在比利時(shí)魯汶的Imec中試線安裝和服務(wù)ASML的全套先進(jìn)光刻和計(jì)量設(shè)備。（每日經(jīng)濟(jì)新聞）

責(zé)編 張楊運(yùn)

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