每日經(jīng)濟新聞 2023-07-28 20:57:35
每經(jīng)訊,據(jù)啟信寶,新三板創(chuàng)新層公司瑞能半導(873928)新增專利信息,專利權人為瑞能半導,發(fā)明人是付紅霞、章劍鋒、崔京京。專利授權日為2023年7月28日,專利名稱為“溝槽型MOSFET晶體管”,專利類型為中國實用新型專利,專利申請?zhí)枮镃N202320007254.0。
該專利摘要顯示:本申請公開了一種溝槽型MOSFET晶體管,涉及半導體器件技術領域。該溝槽型MOSFET晶體管包括第一摻雜類型的襯底,襯底包括第一表面,第一表面上設置有第一摻雜類型的外延層;設置在外延層內的第二摻雜類型的阱區(qū);設置在阱區(qū)內的柵極溝槽結構;柵極溝槽結構,包括設置在遠離第一表面一側的柵極;設置在柵極與柵極溝槽結構的底部之間的多個相互絕緣的第一場板,在平行于第一表面的方向上,各個第一場板具有相同的長度;柵極與第一場板之間絕緣;在垂直于第一表面的方向上,相鄰兩個第一場板之間的距離由各個第一場板的厚度確定。根據(jù)本申請能夠保證溝槽型MOSFET晶體管內電場分布均勻,且簡化制造工藝。
(記者 曾健輝)
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