每日經(jīng)濟新聞 2023-09-19 06:53:40
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：您好，請問貴公司的場發(fā)射掃描電鏡可以檢測半導體晶圓刻度質(zhì)量、晶格結構嗎？
鋼研納克（300797.SZ）9月18日在投資者互動平臺表示，公司子公司納克微束生產(chǎn)的場發(fā)射掃描電鏡根據(jù)不同的選配模塊及工作方式，分辨率達到了納米級。
(記者 蔡鼎)
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