2023-10-16 14:12:39
每經(jīng)AI快訊,10月16日,近日,中國散裂中子源(CSNS)探測(cè)器團(tuán)隊(duì)利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼專用裝置,成功制備出滿足中子探測(cè)器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品,單片面積達(dá)到1500mm×500mm,薄膜厚度1微米,全尺寸范圍內(nèi)厚度均勻性優(yōu)于±1.32%,是目前國際上用于中子探測(cè)的最大面積的碳化硼薄膜。 (科技日?qǐng)?bào))
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