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高性能大面積碳化硼薄膜在中國散裂中子源研制成功

2023-10-17 05:34:16

每經(jīng)AI快訊，記者16日從中國散裂中子源（CSNS）獲悉，CSNS探測器團(tuán)隊(duì)利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼專用裝置，近日成功制備出滿足中子探測器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品，單片面積達(dá)到1500毫米×500毫米，薄膜厚度1微米，全尺寸范圍內(nèi)厚度均勻性優(yōu)于±1.32%，是目前國際上用于中子探測的最大面積的碳化硼薄膜。（科技日報）

責(zé)編 張喜威

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