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漢鐘精機(jī)：干式螺桿以及多級魯式和旋片泵系列真空產(chǎn)品已獲得SEMI安全基準(zhǔn)驗證證書

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2025-03-18 16:32:15

每經(jīng)AI快訊，3月18日，漢鐘精機(jī)在投資者互動平臺回答稱，公司的干式螺桿以及多級魯式和旋片泵系列真空產(chǎn)品，已獲得 SEMI 安全基準(zhǔn)驗證證書，能滿足于生產(chǎn)最先進(jìn)半導(dǎo)體制程工藝以及各種清潔及嚴(yán)苛制程段所需的高真空場景。目前與國內(nèi)的部分機(jī)臺商、晶圓廠都有合作，但量還較少，對業(yè)績影響不大。

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